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중견련 회원사 '원익머트리얼즈'가 삼성전자와 손잡고 고순도 기체 불화수소 국산화를 추진합니다. 올해 말 테스트를 마치고 내년부터 삼성전자 반도체 생산 라인에 투입할 예정입니다.

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'에칭가스'로 불리는 고순도 기체 불화수소는 일부 국산화에 성공한 액체 형태의 불화수소보다 제조 방식이 까다로워 대체 불가능하다고 여겨졌습니다. 일본 기업이 주도권을 가진 '에칭가스'는 반도체 회로 패턴의 불필요한 부분을 깎는 '식각 공정'에 주로 쓰입니다.

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'원익머트리얼즈' 관계자는 "순도를 높여 테스트하는 과정을 쉼없이 반복하고 있다"라면서, "'에칭가스'의 국산화뿐 아니라 원료 수입 다변화에도 집중해 반도체 산업 토대를 지키는 데 힘을 보탤 것"이라고 밝혔습니다.

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https://www.ajunews.com/view/20191017135926980